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本发明属于表面膜层强化技术领域，特别涉及一种轴承钢表面Ta基薄膜的制备方法，首先将轴承钢表面的预处理，将轴承钢表面打磨、抛光后置于有机溶剂中超声清洗并吹干；然后将工件在真空状态下进行表面溅射清洗，并在工件表面进行非金属离子注入；再将Ta表面...
该专利属于上海工程技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海工程技术大学授权不得商用。

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