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本发明公开了一种氧化铜掺杂二氧化锡基的氨气气敏传感器的制备方法。本发明步骤如下：将纯度均为99.99%的Cu靶材和Sn靶材分别放在两个射频溅射靶上，将Al2O3陶瓷管放在样品托上；溅射前将系统抽为真空，直至系统的气压达到10-3-10-5P...
该专利属于河北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过河北工业大学授权不得商用。

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