下载采用回转窑制备四氟化硅的方法的技术资料

文档序号:8447336

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本发明公开了一种采用回转窑制备四氟化硅的方法,该方法是将氟硅酸钠与硫酸预反应后送入回转窑中进一步反应,回转窑窑内压力-2~-5Kpa,窑内由前向后三段分别控制温度在160~190℃、191~220℃、221~250℃,反应完成后,将四氟化硅...
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