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一种石英管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的方法及设备技术
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文档序号:8447331
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本发明属于冶金提纯技术领域,特别涉及一种取尾料式定向凝固提纯多晶硅的方法及设备。该方法是在惰性气体环境中,将硅料熔化形成硅熔体;之后降温、拉锭,待凝固完成85~90%时,将石英管伸入剩余的硅熔体中,停止抽真空,通入惰性气体,剩余硅熔体在压力...
该专利属于青岛隆盛晶硅科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛隆盛晶硅科技有限公司授权不得商用。
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