下载一种石英管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的方法及设备的技术资料

文档序号:8447331

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本发明属于冶金提纯技术领域,特别涉及一种取尾料式定向凝固提纯多晶硅的方法及设备。该方法是在惰性气体环境中,将硅料熔化形成硅熔体;之后降温、拉锭,待凝固完成85~90%时,将石英管伸入剩余的硅熔体中,停止抽真空,通入惰性气体,剩余硅熔体在压力...
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