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本发明涉及一种多晶硅制备设备，具体地说，涉及一种利用硅烷的热分解反应制取多晶硅制备设备，本发明为克服硅烷法制备多晶硅存在的缺陷，提供了一种安全系数高、产能高的硅烷分解法多晶硅制备设备，本发明其包括主反应室、气源单元、控制单元、电源单元、打压...
该专利属于青岛赛瑞达电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛赛瑞达电子科技有限公司授权不得商用。

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