下载气相裂解法制备β-SiC超细微粉工艺的技术资料

文档序号:8447324

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本发明设计一种利用生产陶瓷先驱体聚碳硅烷生成的副产物(可气化的有机硅聚合物CPS),采取气相裂解法工业化制备β-SiC超细陶瓷粉体工艺。主要包括以下步骤:原料、惰性气体经计量输送至气化釜内气化,通过静混器调节惰性气体比例至气相裂解炉裂解生成...
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