下载一种氮在碳纳米尖端中掺杂的有效方法的技术资料

文档序号:8447307

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本发明提供一种氮在碳纳米尖端中掺杂的有效方法,在Si衬底上沉积一层金膜作为催化剂层,以CH4、H2和N2为反应气体,在利用等离子体增强热丝化学气相沉积制备碳纳米尖端的过程中,将氮有效地掺入碳纳米尖端中;其中,金膜的厚度为5~30nm;反应气...
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