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一种MEMS气流传感器管芯，具有在MEMS管芯上与气流传感器相集成的加热器控制电路、差动仪表放大器、温度补偿、和/或偏移校正电路。可利用MEMS制造技术来在基本气流管芯上的可用空间上放置附加的电路，而不用增大该传感器管芯。具有附加的电路的管...
该专利属于霍尼韦尔国际公司所有，仅供学习研究参考，未经过霍尼韦尔国际公司授权不得商用。

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