在管芯上结合附加电路的MEMS气流传感器管芯制造技术

一种MEMS气流传感器管芯，具有在MEMS管芯上与气流传感器相集成的加热器控制电路、差动仪表放大器、温度补偿、和/或偏移校正电路。可利用MEMS制造技术来在基本气流管芯上的可用空间上放置附加的电路，而不用增大该传感器管芯。具有附加的电路的管芯可导致具有减小的形状因数、改进的可靠性和更低的成本的器件。

【技术实现步骤摘要】
在管芯上结合附加电路的MEMS气流传感器管芯
技术介绍
本公开与传感器有关，特别是与流量传感器有关。更特别地，本公开与MEMS管芯上的流量传感器有关。
技术实现思路
本专利技术展现了一种MEMS气流管芯，具有在MEMS管芯上与气流传感器相集成的加热器控制电路、差动仪表放大器、温度补偿、和/或偏移校正电路。附加的电路可放置在气流管芯上的可用空间上，而不增大该管芯。该管芯可导致具有减少的形状因数、改进的可靠性和更低的成本的流量传感器封装。附图说明图1为位于电路板上的MEMS管芯上的流体流量传感器的示图；图2为位于印刷电路板上的MEMS管芯上的具有流体流量传感器的布置的更近景的示图；图3为展现了对于附加物品可用的空间的基于电桥的MEMS流量管芯的示图；图4为与图3中的管芯相似的基于薄膜的MEMS流量管芯的示图，展现了可能对于附加物品可用的空间；图5为示例惠斯通电桥电路的示图，其可以是位于MEMS管芯结构上的流量传感器的电原理图；图6为差动放大器电路的示例的示图；图7为加热器控制电路的示例的示图；图8为示例温度补偿电路的框图；以及图9为与图1-4的管芯相似但是示出了加热器控制、差动放大器和温度补偿的附本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种流体流量传感器布置，包括：微机电系统制造的流体流量传感器管芯，具有流体流量传感器；温度传感器，形成在该管芯上的可用空间中；以及温度补偿电路，形成在该管芯上的可用空间中，并且被连接到温度传感器以及连接到流体流量传感器的输出；以及，其中：流体流量传感器的输出指示了经过流量传感器的流体流量的大小；以及利用温度补偿电路来补偿由该管芯的温度引起的在流量传感器的输出处所指示的流体流量的大小的改变。

【技术特征摘要】
2011.09.06 US 13/226,2641.一种流体流量传感器布置，包括：微机电系统制造的流体流量传感器管芯，具有流体流量传感器；放大器，形成在该管芯上的可用空间中以放大流量传感器的输出；温度传感器，形成在该管芯上的可用空间中；以及温度补偿电路，形成在该管芯上的可用空间中，并且被连接到温度传感器以及连接到流体流量传感器的输出；流量传感器输出偏移校正电路，在该管芯上的可用空间内利用微机电系统制造技术形成在该管芯上；以及，引脚；以及其中：流体流量传感器的输出指示了经过流量传感器的流体流量的大小；以及利用温度补偿电路来补偿由该管芯的温度引起的在流量传感器的输出处所指示的流体流量的大小的改变；该放大器被连接到该流体流量传感器的输出；该流量传感器输出偏移校正电路与该放大器互连；以及来自该管芯的放大的差动输出传递至所述引脚，除了由该放大器和流量传感器输出偏移校正电路所提供的放大或偏移校正以外没有任何附加的放大或偏移校正。2.权利要求1的布置，进一步包括：该管芯上的加热元件；以及加热器控制电路，形成在该管芯上，并且被连接到该温度传感器和该加热元件，来为该流体流量传感器维持预选择的操作温度；以及其中：该流体流量传感器为气流传感器；以及利用微机电系统制造技术来在该管芯上形成该温度传感器、该温度补偿电路、该放大器、该加热元件和该加热器控制电路。3.权利要求2的布置，其中：该流量传感器包括基于电桥的防潮微机电系统结构或基于薄膜的防潮微机电系统结构；以及该结构包括至少部分惠斯通配置。4.一种流体流量传感器管芯，包括：微机电系统制造的流体流量传感器管芯，具有流量传感器；以及放大器，被添加到该流量传感器管芯；流量传感器输出偏移校正电路，利用微机电系统制造技术被添加到该流量传感器管芯并形成在该流量传感器管芯上；以及其中：利用微机电系统制造技术来在该流量传感器管芯上形成该放大器；该...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·A·J·卡西米，L·F·里克斯，
申请(专利权)人：霍尼韦尔国际公司，
类型：发明
国别省市：