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一种同时含有方形、弧形通道PDMS芯片的制备方法,步骤包括:通过标准光刻法制备的交联态SU-8阳模与液态PDMS夹合,PDMS固化后,得到反转有阳模图案的阴模PDMS;将阴模PDMS与固态未交联SU-8光刻胶夹合,真空烘箱加热使光刻胶呈流动...
该专利属于中国科学院大连化学物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院大连化学物理研究所授权不得商用。

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