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本实用新型公开了一种制备热解氮化硼制品用的有分离式进气口的气相沉积炉，由炉体和炉盖构成，其中炉体底部设有第一原料气体进入的第一进气口，炉体侧壁设有第二原料气体进入的第二进气口。使用本实用新型所得的产品质地均匀，可有效提高产品的质量及合格率。...
该专利属于北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司授权不得商用。

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