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有机层沉积设备和有机发光显示装置制造方法及图纸
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文档序号:8429892
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本实用新型公开了一种有机层沉积设备和一种有机发光显示装置。所述有机层沉积设备包括:静电吸盘,固定地支撑作为沉积目标的基板;沉积单元,包括保持一定真空的室以及有机层沉积组件,有机层沉积组件用来在由静电吸盘固定地支撑的基板上沉积有机层;第一输送...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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