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本发明公开了一种硅片倒片装置，属于集成电路制造技术领域，其该装置，包括：基座；硅片盒固定单元，设置在所述基座上，用于固定参与硅片交换的硅片盒；滑轨，设置在所述基座上并位于所述硅片盒固定单元的一侧；滑动支架，设置在所述滑轨上并可沿所述滑轨滑行...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。

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