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本发明公开了一种触针式轮廓仪传感器静态及动态特性的检定装置，检定装置包括静态位移发生装置、动态位移发生装置及位移测量装置；静态位移发生装置包括底座、右轴承座、左轴承座、滚珠丝杠、斜块、x向直线导轨滑块、第一直线导轨、第二直线导轨、z向工作台...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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