一种触针式轮廓仪传感器静态及动态特性的检定装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种触针式轮廓仪传感器静态及动态特性的检定装置，检定装置包括静态位移发生装置、动态位移发生装置及位移测量装置；静态位移发生装置包括底座、右轴承座、左轴承座、滚珠丝杠、斜块、x向直线导轨滑块、第一直线导轨、第二直线导轨、z向工作台和z向支撑架；斜块固定在x向直线导轨滑块上，滑块安装在第一直线导轨上，第一直线导轨与底座固定连接；滚珠丝杠从斜块的中心穿过且两端分别固定在右轴承座和左轴承座上；第二直线导轨固定在斜块的斜面上；z向工作台与z向支撑架连接，z向支撑架与底座连接；z向工作台与第二直线导轨通过滑动摩擦将x向移动转化为z向运动。本发明专利技术具有检定精度高、检定范围大、检测速度快、结构简单、成本低的特点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于测量装置检定
，更具体地，涉及一种触针式轮廓仪传感器静态及动态特性的检定装置。
技术介绍
目前，高端表面形貌的检测需要达到几个mm范围、纳米级分辨率的水平。触针式传感器处于触针式轮廓仪的输入端，是整个轮廓仪系统的首要环节，其性能直接影响仪器系统精度特性。为了适应高端表面形貌的检测要求，触针式轮廓仪传感器的动、静态特性要求也越来越高。根据触针式表面粗糙度测量仪校准规范，校检项目中对于触针式轮廓仪传感器的 校检存在三点不足之处。第一，校检项目中，对触针式轮廓仪传感器静态特性检定，采用刻线样板，其检定范围小。第二，静态检定时，采用粗糙度参数如Ra (Ra指轮廓算术平均偏差)的示值误差作为误差评定，数据处理时本身采用了平均效应，缺乏对触针式轮廓仪传感器全范围多个单点测量的误差评定。第三，整个校检项目不足以检测传感器的动态性能，即跟随表面形貌快速变化的性能。触针式表面粗糙度测量仪的动态测量校准设备，采用的是多刻线粗糙度标准样板。多刻线粗糙度标准样板具有高的精度，但是多刻线粗糙度样板的表面形貌单一，与实际待检测表面形貌差别大，在校检的过程中不能完全反应触针式轮廓仪传感器在测本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种触针式轮廓仪传感器静态及动态特性的检定装置，其特征在于，包括静态位移发生装置、镶嵌在所述静态位移发生装置上的动态位移发生装置以及用于将静态位移发生装置和动态位移发生装置的位移变化信号转化为光学信号的位移测量装置；所述静态位移发生装置(110)包括：底座(1)、右轴承座(6)、左轴承座(40)、滚珠丝杠(7)、斜块(37)、x向直线导轨滑块(38)、第一直线导轨(39)、第二直线导轨(34)、z向工作台(31)和z向支撑架(33)；斜块(37)固定在x向直线导轨滑块(38)上，x向直线导轨滑块(38)安装在第一直线导轨(39)上，第一直线导轨(39)与底座(1)固定连接；滚珠丝杠(7)从斜块...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：虢磊，刘晓军，卢文龙，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：