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本实用新型公开了一种芯片级封装声表面波器件,其在基板表面除制作出声表面波器件的引出金属电极外,还制作有围绕器件的金属接地框;采用绝缘薄膜完全覆盖覆晶结构阵列,使绝缘薄膜密接覆晶结构,并在覆晶结构处使芯片有源区与基板表面间有一定间隔,均形成一...该专利属于中国电子科技集团公司第五十五研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第五十五研究所授权不得商用。
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本实用新型公开了一种芯片级封装声表面波器件,其在基板表面除制作出声表面波器件的引出金属电极外,还制作有围绕器件的金属接地框;采用绝缘薄膜完全覆盖覆晶结构阵列,使绝缘薄膜密接覆晶结构,并在覆晶结构处使芯片有源区与基板表面间有一定间隔,均形成一...