下载用于直拉硅单晶炉的热屏屏罩的技术资料

文档序号:8398316

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本实用新型公开了一种用于直拉硅单晶炉的热屏屏罩,在热屏外胆内腔中设置有一个反射板,热屏外胆和反射板之间设置有隔热层,反射板与热屏内胆的形状一致,为上口大、下口小的中空环形结构;反射板上沿与散热盘的环形开口端下沿固定连接,散热盘的帽沿部分高出...
该专利属于银川隆基硅材料有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;西安隆基硅材料股份有限公司;无锡隆基硅材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过银川隆基硅材料有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;西安隆基硅材料股份有限公司;无锡隆基硅材料有限公司授权不得商用。

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