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本实用新型公开了一种用于ETP?PECVD生产线的镂空石墨载板结构，该石墨载板主要由镂空方格构成。在一矩形石墨板的中心区域加工有12个镂空方格，方格四周加工有凹槽，凹槽的角上加工有半圆台阶和矩形台阶，石墨板的上侧加工有传输磁铁固定孔和磁铁安...
该专利属于芶富均所有，仅供学习研究参考，未经过芶富均授权不得商用。

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