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压电膜器件和压电膜装置制造方法及图纸
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文档序号:8391104
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在基板上具有压电膜的压电膜器件,其中,所述压电膜具有用通式(K1-xNax)yNbO3(0<x<1)表示的碱金属铌氧化物系的钙钛矿结构,所述碱金属铌氧化物系的组成为0.40≤x≤0.70且0.77≤y≤0.90的范围,此外,所述(K1-xN...
该专利属于日立电线株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日立电线株式会社授权不得商用。
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