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光固化性压印用组合物以及使用该组合物的图案的形成方法技术
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文档序号:8391032
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本发明提供不论聚合性单体的种类、图案的转印性好、与模具(图案形成面)的剥离性好、因而能够形成再现性优异的形状图案的光固化性压印用组合物;以及使用该组合物的采用光压印在基板上形成图案的方法。光固化性压印用组合物含有下述物质而成:具有(甲基)丙...
该专利属于株式会社德山所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社德山授权不得商用。
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