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波长板的制造方法技术
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文档序号:8390789
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本发明制造保持高耐湿性而耐久性和稳定性优良的波长板。在基板上倾斜沉积介质材料,形成具有介质材料的微粒层叠为柱状的柱状部(12)、和设在该柱状部间的间隙部(13)的双折射层(14),在100℃以上300℃以下的温度对双折射层(14)进行退火处...
该专利属于迪睿合电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过迪睿合电子材料有限公司授权不得商用。
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