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本文的实施例是关于一种片材生产装置。容器经组态以固持材料的熔化物，且冷却板接近所述熔化物而安置。此冷却板经组态以在所述熔化物上形成所述材料的片材-使用泵，在一个例子中，此泵包含气源以及与所述气源流体连通的管道，在另一例子中，此泵将气体注入至...
该专利属于瓦里安半导体设备公司所有，仅供学习研究参考，未经过瓦里安半导体设备公司授权不得商用。

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