具有低氧含量的亚微米级的硅粉末制造技术资料下载

下载具有低氧含量的亚微米级的硅粉末的技术资料

文档序号：8390188

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一种具有在20nm和200nm之间的平均一次粒径的亚微米级的Si基粉末，其中该粉末具有一个包括SiOx的表面层，其中0该专利属于尤米科尔公司所有，仅供学习研究参考，未经过尤米科尔公司授权不得商用。

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