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MEMS话筒和用于制造MEMS话筒的方法技术
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文档序号:8390179
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本发明涉及一种用于制造话筒的方法,其中转换器元件(WE)安装在载体(TR)上;盖板被布置在转换器元件(WE)和载体(TR)上,使得转换器元件(WE)被包围在盖板和载体(TR)之间;在载体(TR)中产生第一声进入开口(SO1);执行话筒的功能...
该专利属于埃普科斯股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过埃普科斯股份有限公司授权不得商用。
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