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本发明的基板用作业装置成本低廉且可实现装置的小型化及轻量化，并具备与以往相比可确保较高的供电效率具有稳定供电功能的非接触供电部。驱动作业头的头驱动机构包括：轨道限定机构(导轨3)；非接触供电用元件(61～63)，沿轨道限定机构排列设置；选择...
该专利属于富士机械制造株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士机械制造株式会社授权不得商用。

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