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用于对齐晶片以用于制造的系统和方法技术方案
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文档序号:8388785
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所描述的是用于对齐晶片以用于制造的基于计算机的方法和装置,包括计算机程序产品。从第一图像捕捉设备接收晶片的第一部分的第一图像。从第二图像捕捉设备接收晶片的第二部分的第二图像,其中图像捕捉设备变换式定义了第一图像捕捉设备和第二图像捕捉设备之间...
该专利属于考戈奈克斯股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过考戈奈克斯股份有限公司授权不得商用。
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