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提供一种膜破裂检测装置和成膜装置。本发明的膜破裂检测装置被设置于成膜装置并进行膜破裂检测操作，该成膜装置具有收容被处理体的处理容器并且将薄膜形成在被处理体的表面上，该膜破裂检测装置具备：弹性波检测单元，其被安装于该成膜装置，检测弹性波；判断...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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