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本发明公开了一种开关管的制作方法、阵列基板的制作方法，首先在基底上依次形成第一金属层、绝缘层、半导体层、欧姆接触层、第二金属层、第三金属层以及光阻层；对光阻层进行图案化处理后，蚀刻第三金属层和第二金属层以形成开关管的输入电极和输出电极；使用...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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