下载鳍状晶体管与其制作方法的技术资料

文档序号:8388760

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本发明提供一种鳍状晶体管与其制作方法。该制作方法首先提供基底,并在基底上形成掩模层。接着于掩模层以及基底中形成第一沟槽,并在第一沟槽中形成半导体层。然后移除掩模层,使得半导体层形成鳍状结构嵌入在基底中且突出于基底上。最后,形成栅极于鳍状结构...
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