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本发明提供了声波器件。声波器件包括：基板；下电极，其位于基板上；压电膜，其位于下电极上，并且由c轴方向的晶格常数与a轴方向的晶格常数之比小于1.6的氮化铝制成；以及上电极，其位于压电膜上，并隔着压电膜面对下电极。...
该专利属于太阳诱电株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过太阳诱电株式会社授权不得商用。

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