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振动元件、振子、电子装置、电子设备、移动体及振动元件的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:8388608
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本发明提供振动元件、振子、电子装置、电子设备、移动体及振动元件的制造方法。本发明以基波实现CI值较小,从而抑制了附近的寄生响应的高频的小型压电振动元件。压电振动元件(1)具备:压电基板(10),其具有矩形的振动部(12)、和厚壁部(13);...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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