下载具有功率计算单元的气体激光装置的技术资料

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具有功率计算单元的气体激光装置(1)具有:第一推算单元(11),其使用DC电源部(21)的输出电流值以及输出电压值和DC电源部(21)的从输入功率向输出功率的变换效率,计算向激光电源装置(20)的输入功率的推定值;第二推算单元(12),其使...
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