下载氮化物半导体模板及发光二极管的技术资料

文档序号:8388071

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本发明的课题是提供一种低电阻、结晶性良好的氮化物半导体模板以及使用该氮化物半导体模板的发光二极管。氮化物半导体模板(10)具备:基板(11);在基板(11)上形成作为添加了O(氧)的O添加层的O掺杂GaN层(12)、在O掺杂GaN层(12)...
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