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Ⅲ-Ⅴ族晶圆可重复进行磊晶制程的方法与构造技术
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文档序号:8388060
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本发明公开了一种Ⅲ-Ⅴ族晶圆可重复进行磊晶制程的方法与构造,依照该方法,进行第一次磊晶制程,使一磊晶结构形成于Ⅲ-Ⅴ族晶圆的正面上,其中磊晶结构包含一镭射吸收层与一组件作动层。压贴一转换基板于磊晶结构上。由该背面照射一具有特定波长的镭射光,...
该专利属于郑朝元;戴言培所有,仅供学习研究参考,未经过郑朝元;戴言培授权不得商用。
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