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太阳能电池的制造方法技术
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文档序号:8388040
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一种太阳能电池的制造方法,包含:步骤A:利用干式蚀刻方式蚀刻一第一导电型基板,使其一入光面成为高低起伏状,且该入光面还形成一个等离子破坏层;步骤B:氧化该等离子破坏层以转变成一个氧化层;步骤C:利用湿式蚀刻方式移除该氧化层;步骤D:热扩散处...
该专利属于茂迪股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过茂迪股份有限公司授权不得商用。
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