下载微光电感单元及其背读式半导体光电倍增管及其组件的技术资料

文档序号:8388037

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本发明涉及半导体传感器技术领域,尤其是指微光电感单元及其背读式半导体光电倍增管及其组件;该光电倍增管及其组件由背面每一微光电感单元提供信号,可允许正面光探测的大填充因数;背读式半导体光电倍增管的配置允许大面积填充,且不产生槽栅;背读式半导体...
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