下载TFT阵列基板、制备方法及量子点发光二极管显示器件的技术资料

文档序号:8387974

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本发明公开了一种TFT阵列基板、其制备方法及量子点发光二极管显示器件,采用半色调掩膜板以及双氧水刻蚀液,可以通过一次构图工艺分别在氧化物半导体层形成氧化物半导体层的图形,以及在源漏极层形成源漏极的图形,这样,就可以在TFT结构中将源漏极直接...
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