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一种红外焦平面探测器芯片真空密封封装结构及封装方法技术
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文档序号:8387960
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本发明涉及一种红外焦平面探测器芯片真空密封封装结构及封装方法,具体方法包括两个步骤,步骤一:将红外焦平面探测器芯片和吸气剂安装在封装壳体的腔体内,并使吸气剂位于红外焦平面探测器芯片与封装壳体底部之间;步骤二:将光学窗口与封装壳体密封连接形成...
该专利属于烟台睿创微纳技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过烟台睿创微纳技术有限公司授权不得商用。
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