温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种光电传感器,其包括基于CMOS工艺的平面光波导及以集成电路实现的传感器,所述平面光波导及传感器集成在一芯片上,所述平面光波导设置在金属布线层上,所述传感器的感光元件用于响应所述平面光波导传导的光信号。本发明通过采用标准CMOS...该专利属于深圳光启高等理工研究院;深圳光启创新技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳光启高等理工研究院;深圳光启创新技术有限公司授权不得商用。