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本发明提供一种晶片的分离方法及分离装置，其在从呈多片晶片层叠的状态的层叠晶片组分离晶片、将分离后的晶片一片一片地移动运载到规定部位的作业中，通过尽量不对分离的晶片施加因摩擦、变形等而产生的应力而防止破损，由此能够进一步提高晶片的合格率、稳定...
该专利属于日本麦可罗尼克斯股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日本麦可罗尼克斯股份有限公司授权不得商用。

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