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本发明涉及一种静态同步扫描获取硅片位置信息的系统，包括装硅片的片盒、承载工作台，片盒置于承载工作台上，该系统还包括位置数据获取模块、设置在片盒一侧的中心线上的光发射阵列、相对于光发射阵列对称地设置在片盒另一侧的两个线阵CCD接收列，位置数据...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。

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