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形成金氧半导体场效晶体管的自我对准接触窗的方法技术
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下载形成金氧半导体场效晶体管的自我对准接触窗的方法的技术资料
文档序号:8387843
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一种于半导体基板中形成接触窗的方法,该方法包括:于一半导体基板中形成多个分别具有一突出部的沟槽栅极;于该半导体基板上沉积一停止层,并令其延伸至所述突出部上,其中该停止层沿着所述突出部的各侧壁延伸的部分分别被一间隙壁所覆盖;通过该停止层相对所...
该专利属于大中集成电路股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过大中集成电路股份有限公司授权不得商用。
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