温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种基板处理装置将基板浸渍在处理液中来对基板进行处理，具有：内槽，其积存处理液；外槽，其回收从内槽溢出的处理液；升降机，其在与内槽的上方相当的待机位置和与内槽的内部相当的处理位置之间与基板一起移动；循环配管，其使内槽与外槽连通，用于使处理液...
该专利属于大日本网屏制造株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过大日本网屏制造株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。