下载双栅极式闪存的技术资料

文档序号:8387814

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种双栅极式闪存,提供一种制造介于内存栅极堆叠及选择栅极之间具有鳍状结构的分离栅极内存单元。实施例包括在该内存栅极堆叠下方的第一沟道区及在该选择栅极下方的第二沟道区。...
该专利属于新加坡商格罗方德半导体私人有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过新加坡商格罗方德半导体私人有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。