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本发明公开了一种智能全自动半导体清洗装置，包括：配酸系统与清洗系统；所述清洗系统具有：用于支撑整体装置的骨架本体；安装在骨架本体内部的清洗工艺槽；安装于清洗工艺槽内，控制清洗模块内洗液层流结构的层流控制系统；连接所述层流控制系统和清洗工艺槽...
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