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本发明涉及一种带电粒子束形成带孔部件和带电粒子束曝光装置。形成带电粒子束的带孔部件在带孔部件的表面上包含不可蒸发吸气剂。不可蒸发吸气剂被设置在受带电粒子束照射的位置中。驱动带电粒子源时在带电粒子源周围的排气性能的劣化被抑制。...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

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