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本发明公开了一种硅微通道板的氧化方法，具体步骤如下：1）将硅微通道板切割成一定形状；2）将硅微通道板置1号液和2号液中清洗；3）在平面型石英舟上放置两块平行的硅片或石英棒，将清洗好的硅微通道板架在硅片或石英棒上氧化，石英棒或硅片的方向与气流...
该专利属于华东师范大学;上海欧普泰科技创业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华东师范大学;上海欧普泰科技创业有限公司授权不得商用。

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