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本发明提供盐、光致抗蚀剂组合物和用于制备光致抗蚀剂图案的方法。一种光致抗蚀剂组合物，其包含在碱水溶液中难溶或不溶但是通过酸的作用可溶的树脂和由式(I)表示的盐，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，L1表示C1-C30三价...
该专利属于住友化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友化学株式会社授权不得商用。

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