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纳米压印复合模板及其制备方法技术
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文档序号:8386713
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本发明公开了一种纳米压印复合模板及其制备方法;所述复合模板为三层粘接结构,上层为高弹性模量PDMS层,中层为低弹性模量PDMS层,下层为塑料板或玻璃板,所述高弹性模量PDMS层的上表面具有微纳米压印结构;所述复合模板的制备方法包括以下步骤:...
该专利属于苏州光舵微纳科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州光舵微纳科技有限公司授权不得商用。
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