温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种掩模板，用于形成显示面板中的薄膜晶体管，包括用于形成薄膜晶体管各组件的主图形，还包括位于所述主图形端部两侧的补偿部，用于补偿光刻过程对所述组件的损耗。以本发明提供的掩模板形成的薄膜晶体管，其显示面板具有良好的显示效果并且具有较高的开口率...
该专利属于上海天马微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海天马微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。